特許権 マイクロ波を利用した金属蒸気の発生方法 鈴木榮一, 藤井知, 椿俊太郎, 和田雄二, 稲津直美 出願番号 特願2017-034841 出願日 2017年2月27日 特許番号/登録番号 特許6431104 登録日 発行日 2018年11月9日
