2021年1月23日 RFマグネトロンスパッタ装置を用いた高品質なAlN薄膜の形成とその比較 第26回高専シンポジウム 前田拓哉, 小渡祐樹, 藤井知, 堀田将也, 西里洋 開催年月日 2021年1月23日 - 2021年1月23日 記述言語 会議種別 口頭発表（一般）
