講演・口頭発表等

2021年

Resonant Drive of All-around Scanning MEMS Mirror with Piezoelectric Actuators

8th Int. Workshop PiezoMEMS
  • Y. Kajiyama
    • ,
  • Y. Hirata
    • ,
  • Y. Shimakura
    • ,
  • K. Kanda
    • ,
  • T. Fujita
    • ,
  • K. Maenaka
開催年月日
2021年 - 2021年
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