2022年4月1日
振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZTヘテロ集積
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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- 巻
- 142
- 号
- 4
- 開始ページ
- 56
- 終了ページ
- 62
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.1541/ieejsmas.142.56
- 出版者・発行元
- 一般社団法人 電気学会
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1541/ieejsmas.142.56
- ISSN : 1341-8939
- eISSN : 1347-5525
- CiNii Research ID : 1390573242795052672