基本情報

所属
東北大学 未来科学技術共同研究センター 開発研究部 先進半導体センサ・デバイス開発プロジェクト 教授

研究者番号
00359556
J-GLOBAL ID
201901004099861283

プラズマプロセス、半導体デバイス・プロセス

研究キーワード

  2

学歴

  1

委員歴

  3

論文

  66

MISC

  16

講演・口頭発表等

  3

共同研究・競争的資金等の研究課題

  5