論文

査読有り筆頭著者

2020年1月

Study on CF4/O2 plasma resistance of O-ring elastomer materials

Journal of Vacuum Science & Technology A

Tetsuya Goto
Shogo Obara
Tomoya Shimizu
Tsuyoshi Inagaki
Yasuyuki Shirai
Shigetoshi Sugawa

巻: 38
号: 1
開始ページ: 013002
終了ページ: 013002-7
記述言語: 英語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1116/1.5124533

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1116/1.5124533
Web of Science: https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000505804500001&DestApp=WOS_CPL

ID情報

DOI : 10.1116/1.5124533
ISSN : 0734-2101
eISSN : 1520-8559
Web of Science ID : WOS:000505804500001

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