2003年5月 日本ウォータージェット学会論文賞 日本ウォータージェット学会 熊野弘之, 祖山均, 坂真澄 タイトル Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using a Cavitating Jet 受賞区分 国内学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国・地域 日本
