特許権 微細加工方法 藤田 忍, 丸野 茂光, 渡部 平司, 市川 昌和 出願番号 平08-024195 出願日 1996年2月 公開番号 平09-219393 公開日 1997年8月 特許番号/登録番号 2922149 登録日 1999年4月 発行日 出願国 国内
