特許権 半導体表面のパターニング方法 丸野 茂光, 藤田 忍, 渡部 平司, 市川 昌和 出願番号 平08-100343 出願日 1996年4月 公開番号 平09-289208 公開日 1997年11月 特許番号/登録番号 3115527 登録日 2000年9月 発行日 出願国 国内
