講演・口頭発表等

2022年12月20日

酸素及び水素熱処理によるスパッタ成膜 SiO2/GaN MOS 構造の界面特性及び絶縁性向上

先進パワー半導体分科会 第9回講演会
  • 大西 健太郎
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  • 小林 拓真
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  • 溝端 秀聡
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  • 野﨑 幹人
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  • 吉越 章隆
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  • 志村 考功
    • ,
  • 渡部 平司
開催年月日
2022年12月20日 - 2022年12月21日
記述言語
日本語
会議種別
ポスター発表
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