2022年3月
Investigation of reliability of NO nitrided SiC(1100) MOS devices
2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- 開始ページ
- 3B.2-1
- 終了ページ
- 3B.2-5
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- DOI
- 10.1109/irps48227.2022.9764595
- 出版者・発行元
- IEEE
- リンク情報
- ID情報
-
- DOI : 10.1109/irps48227.2022.9764595