論文

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2020年4月27日

Electrically detected magnetic resonance study on interface defects at nitrided Si-face, a-face, and m-face 4H-SiC/SiO2 interfaces

Applied Physics Letters

E. Higa
M. Sometani
H. Hirai
H. Yano
S. Harada
T. Umeda

記述言語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1063/5.0002944

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DOI: https://doi.org/10.1063/5.0002944

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DOI : 10.1063/5.0002944
ORCIDのPut Code : 72927644

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