MISC

2018年

厚さ数十ナノメートルの平滑なチタン薄膜を用いた大気中ウェハ接合技術の開発

エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集

東颯人
日暮栄治
須賀唯知

巻: 32
号: 0
開始ページ: 283
終了ページ: 284
記述言語: 日本語
掲載種別
DOI: 10.11486/ejisso.32.0_283
出版者・発行元: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.11486/ejisso.32.0_283
J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201802257543290455
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/130007627624

ID情報

DOI : 10.11486/ejisso.32.0_283
ISSN : 1880-4616
J-Global ID : 201802257543290455
CiNii Articles ID : 130007627624

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