様々な科学・工業応用が期待されるテラヘルツ波長帯の検出器の中で、最も高感度且つ大規模化を実現している検出器の1つが、ゲルマニウムの不純物半導体を用いた検出器である。我々はウェファボンディング技術を応用する事により、これまで製造が困難であったGe半導体を用いた遠赤外線BIB型検出器の製作実現性を確認した。これにより、これまで安価且つ大規模な検出器の製作が事実上不可能であった100～300μm帯における検出器製作の目処が得られた。