2014年4月 - 2018年3月
大気圧下プラズマCVD法によるアモルファス炭素異方性制御技術の開発
日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(B)
メタンガスの供給設備を整えるとともに、マイクロ波電源・導波管の組立・設置を行い、大気圧プラズマ・ジェット生成装置を完成させた。さらに、プラズマジェットの周囲にチャンバーを設置し、大気を排気し窒素ガスを充てんすることで、酸素を遮断した状態でプラズマジェットを照射する環境を整えた。大気中では酸素と結合した炭素堆積物が得られるのみであったが、酸素遮断下でのメタンプラズマ照射実験を行った結果、、煤ではない炭素堆積物が基板上に点在している様子を確認できた。また、同じ照射装置を用いて、タングステン基板にヘリウムプラズマを照射した結果、タングステン表面に繊維状のナノ構造が発生することを確認した。
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- 課題番号 : 26790065
- 体系的課題番号 : JP26790065