清水浩貴 (Hiroki Shimizu) - マイポータル

基本情報

所属: 九州工業大学大学院工学研究院機械知能工学研究系准教授

学位: 博士（工学）(大阪大学)

連絡先: shimizu.hiroki885mail.kyutech.jp
研究者番号: 50323043
J-GLOBAL ID: 202001015802307180
researchmap会員ID: R000001301

研究キーワード

計測工学

研究分野

経歴

2008年4月 - 現在

九州工業大学, 大学院工学研究院機械知能工学研究系, 准教授
2007年4月 - 2008年3月

九州工業大学, 工学部機械知能工学科, 准教授

受賞

2014年6月

工作機械技術振興財団奨励賞, 工作機械技術振興財団

崎田浩輔, 清水浩貴, 田丸雄摩

論文

Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements

Sato R., Shimizu Y., Shimizu H., Matsukuma H., Gao W.

Optics Express 31(7) 11982-11993 2023年3月27日査読有り
Investigation of Angle Measurement Based on Direct Third Harmonic Generation in Centrosymmetric Crystals

Li K., Lin J., Zhang Z., Sato R., Shimizu H., Matsukuma H., Gao W.

Applied Sciences (Switzerland) 13(2) 2023年1月査読有り
Reduction of Crosstalk Errors in a Surface Encoder Having a Long Z-Directional Measuring Range

Hong Y., Sato R., Shimizu Y., Matsukuma H., Shimizu H., Gao W.

Sensors 22(23) 2022年12月査読有り
Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces

Tamaru Yuuma, Kawata Kensuke, Shimizu Hiroki

International Journal of Automation Technology 16(5) 588-597 2022年9月5日査読有り最終著者
A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces

Shimizu Hiroki, Tamiya Koichi, Mizukami Shoichiro, Tamaru Yuuma

International Journal of Automation Technology 16(5) 582-587 2022年9月5日査読有り筆頭著者責任著者
Feasibility study of multi-point two-dimensional profile measurement by 3-2-1 and 3×3 sensor layout

Fujiwara R., Shimizu H.

Measurement: Sensors 18 2021年12月査読有り最終著者責任著者
High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials

K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu

Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology C13 2019年11月13日査読有り最終著者
Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors

Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru

Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments D08 2019年9月2日査読有り
Square layout four-point method for two-dimensional profile measurement and self-calibration method of zero-adjustment error

Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T., Tamaru Y.

International Journal of Automation Technology 12(5) 707-713 2018年9月1日査読有り筆頭著者責任著者
A novel compensation method of zero-adjustment error in flatness measurement using serial four-point method

Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T.

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017.9 163 2017年11月13日査読有り筆頭著者責任著者
浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ効果支持リニアスライダ

田丸雄摩, 清水浩貴

日本機械学会論文集 83(854) 17-00278-17-00278 2017年10月25日査読有り
Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation

Shimizu H, Komatsu S, Tamaru Y

Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2015 2015年10月18日査読有り
Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe

Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

International Journal of Automation Technology 9(5) 551-557 2015年9月5日査読有り
Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors

Hiroki Shimizu, Takahiro Akiyoshi, Shinya Yanagihara, Yuuma Tamaru, Akiyoshi Baba

Proceedings of 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 1-5 2015年9月査読有り
Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method

Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

Proceedings of 11th IMEKO Symposium LMPMI2014 (Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry) 1-4 2014年9月査読有り
ボールねじ式送りテーブルの位置・角度補正

田丸雄摩, 清水浩貴, 加茂田浩史

日本機械学会論文集 80(816) 1-11 2014年8月査読有り
Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators

Hiroki Shimizu, Keitaro Tanaka, Yuuma Tamaru

Key Engineering Materials 613 200-203 2014年5月査読有り
長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動

田丸雄摩, 高藤和樹, 清水浩貴

日本機械学会論文集（Ｃ編） 74(745) 2294-2299 2008年9月25日査読有り
Theoretical Study on Self-calibration for the Wide-rangeLaser Auto-collimation Method

H.Shimizu, O.Hayashi

Key Engineering Materials 381-382 271-274 2008年6月査読有り
高感度2軸マイクロ角度センサの開発

高偉, 齋藤悠佑, 佐藤隼人, 清野慧, 清水浩貴, 広瀬純

精密工学会誌 72(9) 1174-1178 2006年9月査読有り

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MISC

第二次高調波共焦点プローブに関する研究

佐藤遼, 清水裕樹, 清水浩貴, 松隈啓, 高偉

精密工学会学術講演会講演論文集 2023S 412-413 2023年3月1日
多点同時計測可能なカンチレバー式変位計デバイス

加倉誠勝, 小濱大輝, 田丸雄摩, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2023S 436-437 2023年3月1日最終著者
3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定

時實拓紀, 野田樹生, 田丸雄摩, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2023S 382-383 2023年3月1日最終著者
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報）

田丸雄摩, 牛島智大, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2022A 28-29 2022年8月25日最終著者
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）

田丸雄摩, 牛島智大, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2022S 680-681 2022年3月2日最終著者
Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces

Tamaru Y., Kawata K., Shimizu H.

10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021 640-645 2021年11月査読有り最終著者
A MEMS device for straightness measurement integrating 10 cantilever displacement sensors

Shimizu H., Tamiya K., Mizukami S., Tamaru Y.

10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021 409-411 2021年11月査読有り筆頭著者責任著者
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第4報）

田丸雄摩, 牛島智大, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2021A 154-155 2021年9月8日最終著者
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）

田丸雄摩, 東福修太朗, 清水浩貴

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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第9報）

田宮弘一, 田丸雄摩, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2021S 629-630 2021年3月3日最終著者
磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第3報）

田丸雄摩, 河田謙介, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 270-271 2020年3月1日最終著者
磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報）

田丸雄摩, 河田謙介, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2019A 351-352 2019年8月20日最終著者
逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定

宮田佑, 田丸雄摩, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2019S 475-476 2019年3月1日最終著者
磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発

田丸雄摩, 宅野元気, 清水浩貴

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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第8報）

水上翔一朗, 真鍋真, 田丸雄摩, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2019S 473-474 2019年3月1日最終著者
正方配置逐次4点法のゼロ点誤差補正法への角度センサ導入による精度改善

笹原隆太郎, 清水浩貴, 田丸雄摩

日本機械学会九州支部講演論文集 2019.72 A43 2019年1月
SOIウエハによる平面測定用5点法MEMS変位計デバイスの高精度化

杉田賢哉, 松本哲也, 田丸雄摩, 清水浩貴

日本機械学会九州支部講演論文集 2019.72 A44 2019年1月最終著者
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第2報）

田丸雄摩, 曲淵公紀, 松本哲也, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2018A 494-495 2018年8月20日最終著者
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

田丸雄摩, 松本哲也, 清水浩貴

精密工学会学術講演会講演論文集 2017A 727-728 2017年1月最終著者
MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）

本永聡一朗, 是永遼介, 清水浩貴, 田丸雄摩

精密工学会学術講演会講演論文集 2017 291-292 2017年