牧野久雄 (Hisao Makino) - マイポータル

基本情報

所属: 高知工科大学システム工学群教授
: (兼任)総合研究所教授

学位: 博士(工学)(筑波大学)

J-GLOBAL ID: 200901082910885981
researchmap会員ID: 1000247778

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

1993年4月 - 1998年3月

筑波大学大学院博士課程, 工学研究科, 物理工学
1989年4月 - 1993年3月

筑波大学, 第三学群, 基礎工学類

委員歴

論文

188

Correlation analysis with measurement conditions and peak structures in XPS spectral round-robin tests on MnO powder sample

Ryo Murakami, Yoshitomo Harada, Yutaka Sonobayashi, Hiroshi Oji, Hisao Makino, Hiromi Tanaka, Hideyuki Taguchi, Takanori Sakamoto, Haruka Morita, Akihiko Wakamori …

Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 264 2023年4月査読有り
Over 130 cm2/Vs Hall mobility of flexible transparent conductive In2O3 films by excimer-laser solid-phase crystallization

Junichi Nomoto, Takashi Koida, Iwao Yamaguchi, Hisao Makino, Yuuki Kitanaka, Tomohiko Nakajima, Tetsuo Tsuchiya

NPG Asia Materials 2022年12月査読有り
Nondegenerate Polycrystalline Hydrogen-Doped Indium Oxide (InOx:H) Thin Films Formed by Low-Temperature Solid-Phase Crystallization for Thin Film Transistors

Taiki Kataoka, Yusaku Magari, Hisao Makino, Mamoru Furuta

Materials 15(1) 187-187 2021年12月27日査読有り
Robust Stability of Optical and Electronic Properties of Gallium‐Doped Zinc Oxide Thin Films to Gamma Ray Irradiation

Claudia Barone, Jeetendra Gupta, Rodica M. Martin, Ihor Sydoryk, Valentin Craciun, Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto, Catalin Martin

physica status solidi (b) 2100469-2100469 2021年12月10日査読有り
Investigation of the effect of adding a moderate amount of hydrogen on the properties of tin oxide films deposited by DC magnetron sputtering

Rostislav Velichko, Yusaku Magari, Hisao Makino, Mamoru Furuta

Japanese Journal of Applied Physics 60(5) 055503-055503 2021年5月1日査読有り
Effects of substrate temperature on thermal stability of Al-doped ZnO thin films capped by AlOx

Hoa T. Dao, Hisao Makino

Ceramics International 47(6) 8060-8066 2021年3月15日査読有り
Record-High-Performance Hydrogenated In–Ga–Zn–O Flexible Schottky Diodes

Yusaku Magari, S. G. Mehadi Aman, Daichi Koretomo, Kentaro Masuda, Kenta Shimpo, Hisao Makino, Mutsumi Kimura, Mamoru Furuta

ACS Applied Materials & Interfaces 12(42) 47739-47746 2020年10月21日査読有り
Chemical trends of n-type doping of Al, Ga, In, and Ti donors for ZnO polycrystalline films deposited by direct-current magnetron sputtering

Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuo Tsuchiya, Tetsuya Yamamoto

Journal of Applied Physics 128(14) 145303-145303 2020年10月14日査読有り
Origin of work function engineering of silver oxide for an In–Ga–Zn–O Schottky diode

Yusaku Magari, Hisao Makino, Shinsuke Hashimoto, Mamoru Furuta

Applied Surface Science 512 144519-144519 2020年5月査読有り
Improvement of the Properties of Direct-Current Magnetron-Sputtered Al-Doped ZnO Polycrystalline Films Containing Retained Ar Atoms Using 10-nm-Thick Buffer Layers

Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tomohiko Nakajima, Tetsuo Tsuchiya, Tetsuya Yamamoto

ACS Omega 4(11) 14526-14536 2019年9月10日査読有り
Improving electrical conductivity and its thermal stability of Al-doped ZnO polycrystalline films using ultrathin Al film as a passivation layer

Dao T, H. Makino H

Solar Energy Materials and Solar Cells 203 110159 2019年9月査読有り
Microstructural investigations of 800 keV Ar ions irradiated nanocrystalline ZrN thin films

Craciun D. Vasile B, S. Lambers, E. Makino, H. Craciun V

Surface Engineering 2019年9月査読有り
Enhancement in optoelectrical properties of polycrystalline ZnO thin films by Ar plasma

Dao H.T, Makino H

Materials Science in Semiconductor Processing 96 46-52 2019年2月査読有り
Erratum: Effects of the erosion zone of magnetron sputtering targets on the spatial distribution of structural and electrical properties of transparent conductive Al-doped ZnO polycrystalline films (J. Appl. Phys. (2018) 124, (065304) 10.1063/1.5086316)

Nomoto J, Makino H, Inaba K, Kobayashi S, Yamamoto T

Journal of Applied Physics 125(2) 2019年査読有り
Improved moisture stability of thin Ga-doped ZnO films by indium codoping

Huaping Song, Hisao Makino, Junichi Nomoto, Naoki Yamamoto, Tetsuya Yamamoto

Applied Surface Science 457 241-246 2018年11月査読有り
Effects of the erosion zone of magnetron sputtering targets on the spatial distribution of structural and electrical properties of transparent conductive Al-doped ZnO polycrystalline films

Junichi Nomoto, Hisao Makino, Katsuhiko Inaba, Shintaro Kobayashi, Tetsuya Yamamoto

Journal of Applied Physics 124(6) 065304-065304 2018年8月14日査読有り
Low-temperature (150 degrees C) activation of Ar+O-2+H-2-sputtered In-Ga-Zn-O for thin-film transistors

Aman S. G. Mehadi, Magari Yusaku, Shimpo Kenta, Hirota Yuya, Makino Hisao, Koretomo Daichi, Furuta Mamoru

APPLIED PHYSICS EXPRESS 11(8) 2018年8月査読有り
Influence of crystallographic polarity on the opto-electrical properties of polycrystalline ZnO thin films deposited by magnetron sputtering

Hisao Makino, Hiroyuki Shimizu

Applied Surface Science 439 839-844 2018年5月1日査読有り
Effects of the carrier concentration on polarity determination in Ga-doped ZnO films by hard x-ray photoelectron spectroscopy

Huaping Song, Hisao Makino, Masaaki Kobata, Junichi Nomoto, Keisuke Kobayashi, Tetsuya Yamamoto

Applied Surface Science 433 1148-1153 2018年3月査読有り
Characteristics of the orientation distribution and carrier transport of polycrystalline Al-doped ZnO films prepared by direct current magnetron sputtering

Junichi Nomoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto

THIN SOLID FILMS 644 33-40 2017年12月査読有り

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MISC

金属酸化物薄膜の電気・光学特性制御と抗菌材料への応用—Tailoring of Electrical and Optical Properties of Metal Oxide Thin Films and Their Application to Antibacterial Materials

山本哲也, 篠森敬三, 牧野久雄

塗装工学 = Journal of Japan Coating Technology Association / 「塗装工学」編集委員会編 57(2) 44-53 2022年
ポリマーフィルム基板上に成膜された酸化亜鉛透明導電膜における電気特性と残留圧縮応力特性—Electrical and residual-compressive-stress properties of highly transparent conductive ZnO films deposited on polymer-film-based substrates—電子材料研究会フレキシブルセラミックスコーティング研究会

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄

電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編] 2017(22-32) 1-6 2017年11月23日
Design of advanced functional ZnO conductive thin films with arc plasma

Tetsuya Yamamoto, Junichi Nomoto, Hisashi Kitami, Toshiyuki Sakemi, Hisao Makino, Keisuke Kobayashi, Yasushi Aoki, Seiichi Kishimoto

Journal of the Vacuum Society of Japan 60(8) 292-299 2017年
エネルギーデバイス最前線導電性ZnOを用いた高速応答水素ガスセンサーの研究開発

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄, 岸本誠一

エネルギーデバイス = Energy device 3(4) 70-76 2016年4月
硬X線・軟X線ダブル線源光電子分光装置によるZnO透明導電膜の評価—2014年度実用表面分析講演会(PSA14) 講演資料

牧野久雄

Journal of surface analysis / 表面分析研究会編 21(3) 2015年3月
酸化亜鉛透明導電膜を感ガス材とした高速高出力電流水素センサー

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄, 岸本誠一

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 3798-3798 2015年2月26日
ワイドバンドギャップ酸化亜鉛における価電子メタモルフォロジ

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 227-227 2015年2月26日
ダブルX線源X線光電子分光分析法

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄, 岩井秀夫, 小林啓介

表面技術 66(12) 608-613 2015年
酸化物半導体における表面フェルミ準位のピン止め現象とキャリア補償効果に関する研究—Relationship between Pinning of Surface Fermi Level and Self-Compensation of Carriers in Oxide Semiconductor Zinc Oxides Studied by Photoemission Spectroscopy

牧野久雄

財団法人日本板硝子材料工学助成会成果報告書 Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering report / 日本板硝子材料工学助成会編 (35) 212-218 2014年
ZnO透明導電膜:極限機能材料へのスマートプロセス

山本哲也, 宋華平, 野本淳一, 牧野久雄, 岸本誠一, 長田実, 長田実

スマートプロセス学会誌 = Journal of smart processing 2(5) 236-244 2013年9月20日
直流アークプラズマを用いたGa添加ZnO透明導電膜 : 機能とその持続性

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄, 岸本誠一

電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2013(1) 21-26 2013年3月15日
酸化物半導体における表面フェルミ準位のピン止め現象とキャリア補償効果に関する研究

牧野久雄

財団法人日本板硝子材料工学助成会成果報告書 Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering report (34) 205-210 2013年
機能持続可能な酸化物半導体薄膜を目指す物質設計 (特集持続可能な社会への提言)

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄

高知工科大学紀要 10(1) 9-17 2013年
酸化亜鉛透明導電膜における構造・電気・光学特性の特徴

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄, 山本直樹

表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 63(10) 625-629 2012年10月1日
酸化亜鉛透明導電膜の構造, 電気および光学特性

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄, 山本直樹

映像情報メディア学会誌 : 映像情報メディア = The journal of the Institute of Image Information and Television Engineers 66(7) 555-560 2012年7月1日
P-73: Development of Ga-doped ZnO transparent electrodes as alternatives for ITO electrodes in liquid crystal displays

Naoki Yamamoto, Hisao Makino, Yasushi Sato, Tetsuya Yamamoto

Digest of Technical Papers - SID International Symposium 42 1 1375-1378 2011年6月1日
Young's Modulus and Coefficient of Linear Thermal Expansion of ZnO Conductive and Transparent Ultra-Thin Films

Naoki Yamamoto, Hisao Makino, Tetsuya Yamamoto

Advances in Materials Science and Engineering 2011 1-10 2011年
レアメタル代替材料としての酸化亜鉛透明導電膜の可能性

山本哲也, 山田高寛, 牧野久雄, 山本直樹

自動車技術 63(11) 85-89 2009年11月1日
酸化亜鉛透明導電膜--実用化への岐路

山本哲也, 三宅亜紀, 山田高寛, 牧野久雄, 山本直樹

高知工科大学紀要 6(1) 21-27 2009年6月
Properties of Highly Transparent Conductive Ga-Doped ZnO Films prepared on Polymer Substrates by Reactive Plasma Deposition with DC Arc Discharge

Aki Miyake, Takahiro Yamada, Hisao Makino, Naoki Yamamoto, Tetsuya Yamamoto

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 22(4) 497-502 2009年

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講演・口頭発表等

137

Al積層AZO薄膜の真空中熱処理によるZnAl2O4界面層の形成とその効果

古賀直弥, 牧野久雄

2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会 2023年7月29日
ガラス基板上ZnO多結晶膜の極性制御とピエゾ効果に関する研究

川村鮎人、牧野久雄

2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会 2023年7月29日
マグネトロンスパッタ法によるソーダガラス上Al添加ZnO膜の低抵抗化と面内分布改善

船附佳里, 牧野久雄

2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会 2023年7月29日
In-situ heat treatment of Al stacking AZO thin films for low resistivity

Naoya Koga, Hisao Makino

The 22nd International Vacuum Congress 2022年9月13日
Polarity control of polycrystalline ZnO thin films deposited by magnetron sputtering on glass using an ultrathin aluminum layer

Hisao Makino, Ayuto, Kawamura, Chikato Hata, Nanase Kawahata

The 9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces 2022年9月5日
硬X線光電子分光法による酸化亜鉛透明導電膜/保護膜界面の評価

牧野久雄, ダオティホア

表面分析研究会第58回研究会 2022年6月23日
Al積層AZO薄膜のその場熱処理による低抵抗化と積層界面の化学状態分析

古賀直弥, 牧野久雄

Journal of Surface Analysis 2022年11月17日一般社団法人表面分析研究会
Al積層AZO薄膜のその場熱処理による低抵抗化

古賀直弥, 牧野久雄

2021年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会 2021年7月31日
残留 Ar を伴う ZnO 薄膜の化学結合状態

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄, 中島智彦, 土屋哲雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021年2月26日公益社団法人応用物理学会
マグネトロンスパッタ成膜 ZnO 透明導電膜における Al, Ga, In 及び Ti ドーピング特性

野本淳一, 牧野久雄, 土屋哲男, 山本哲也

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021年2月26日公益社団法人応用物理学会
水素化In–Ga–Zn–Oの表面およびバルク電子状態評価

曲勇作, 増田健太郎, 牧野久雄, 古田守

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020年8月26日公益社団法人応用物理学会
残留 Ar を伴う Al 添加 ZnO 透明導電膜の化学結合状態

山本哲也, 野本淳一, 牧野久雄, 土屋哲男

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020年2月28日公益社団法人応用物理学会
スパッタ成膜 Al 添加 ZnO 透明導電多結晶膜の特性に与える残留 Ar 量の影響

野本淳一, 牧野久雄, 土屋哲男, 山本哲也

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020年2月28日公益社団法人応用物理学会
Hard X-ray spectroscopy of transparent conductive heavily doped ZnO thin films

Hisao Makino

8th International Symposium on Practical Surface Analysis 2019年11月7日
Characterization of Al-doped ZnO thin films by laboratory-based hard X-ray photoelectron spectroscopy system

Itsuki Takeda, Hisao Makino

8th International Symposium on Practical Surface Analysis 2019年11月5日
直流アークプラズマを用いるイオンプレーティングにより作製した高c軸配向AlN薄膜—第55回秋期講演大会 : 優秀発表賞受賞論文と受賞者の感想 ; 第55回秋期講演大会優秀論文

野本淳一, 北見尚久, 牧野久雄, 山本哲也

日本電子材料技術協会会報 = Bulletin of Japan Electronic Materials Society / 日本電子材料技術協会編 2019年11月日本電子材料技術協会
Improvement of electrical conductivity of Al coated AZO film under thermal an-nealing in air

Dao Thi Hoa, Hisao Makino

11th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics 2019年10月7日
Ar+O₂+H₂スパッタIn–Ga–Zn–O薄膜の電子状態評価

曲勇作, 増田健太郎, 牧野久雄, 古田守

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019年9月4日公益社団法人応用物理学会
橙色発光を示すAl添加ZnO薄膜のドーパント化学状態評価

武田樹, 牧野久雄

2019年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会 2019年7月21日
反応性プラズマ蒸着法による Ga 添加 ZnO 薄膜における成長速度とキャリア密度の支配因子

山本哲也, 古林寛, 牧野久雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019年2月25日公益社団法人応用物理学会

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

酸化亜鉛多結晶薄膜の欠陥制御と化学センサへの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2020年4月 - 2023年3月

牧野久雄
低温成膜酸化亜鉛多結晶薄膜の極性制御と格子欠陥

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2017年4月 - 2020年3月

牧野久雄
吸着酸素化学状態制御による高感度水素センサー

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2012年4月 - 2015年3月

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄, 岸本誠一, 野本淳一, 小林啓介
多結晶酸化亜鉛薄膜における配向制御とアクセプタドーピングに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2011年 - 2013年

牧野久雄, 山本哲也, 佐々木高義
透明電極向けインジウム代替材料開発／酸化亜鉛系液晶ディスプレイの開発

2007年 - 2011年
原子層エピタキシ法による酸化亜鉛薄膜成長とドーピングの空間コヒーレンス制御

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2006年 - 2007年

牧野久雄
自然量子井戸構造半導体単結晶の光学特性と低次元励起子エンジニアリング

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2004年 - 2005年

牧野久雄
有機半導体の分子線エピタキシとエレクトロニクス応用

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究萌芽研究 2002年 - 2002年

八百隆文, 花田貴, 張志豪, 岡田修司, 牧野久雄
遷移金属酸化物薄膜のスピン・フォトン量子の競合とその応用

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究(A) 特定領域研究(A) 2000年 - 2001年

八百隆文, 牧野久雄
ワイドギャップ半導体ナノ量子ビットの構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 1998年 - 2000年

八百隆文, 具本欣, 牧野久雄, 花田貴, グラビアローレント, クルツエリザベス

産業財産権

特開2015-135879 高キャリア密度n型ZnO薄膜及びその製造方法

山本哲也, 牧野久雄, 中田邦彦
特開2015-088485 X線源及びこれを用いるX線照射装置並びにX線光電子分光装置

小林啓介, 山本哲也, 牧野久雄, 岩井秀夫
特開2015-062007 酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄, 野本淳一
特開2015-038847 透明導電性酸化亜鉛薄膜

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄, 野本淳一
特許第5680386号透明導電膜及び透明導電膜付き基板

山本哲也, 山本直樹, 牧野久雄, 氏原彰, 伊東孝洋
特許第5352878号表示用基板及びその製造方法並びに表示装置

山本哲也, 山本直樹, 牧野久雄, 氏原彰, 平島義典, 岩岡啓明, 青木久, 保苅一志, 吉田基彦
特開2013-147727 透明導電性酸化亜鉛薄膜及び該透明導電性酸化亜鉛薄膜の製造方法

山本哲也, 宋華平, 牧野久雄
特開2012-117093 透明導電膜及び透明導電膜付き基板

山本哲也, 山本直樹, 牧野久雄, 氏原彰, 伊東孝洋
特開2011-134495 酸化亜鉛系結晶からなる薄膜のパターニング方法

山本直樹, 山本哲也, 牧野久雄, 山田高寛
特開2011-119709 酸化亜鉛系結晶からなる薄膜のエッチング方法

山本直樹, 山本哲也, 牧野久雄, 山田高寛
特開2010-272599 酸化亜鉛系結晶からなる透明膜のエッチング方法

山本直樹, 山本哲也, 牧野久雄, 山田高寛
特開2009-265629 表示用基板及びその製造方法並びに表示装置

山本哲也, 山本直樹, 牧野久雄, 氏原彰, 平島義典, 岩岡啓明, 青木久, 保苅一志, 吉田基彦

牧野久雄

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

論文

MISC

講演・口頭発表等

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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