原子力機構が開発したガス分析装置は、連続排気や連続ベーキングによりバックグラウンド圧力を極力低減することで高感度化に成功した。その結果、EI(電子イオン化)マススペクトルはダイナミックレンジ8桁のイオン化電流値が得られる。現在EIマススペクトルについては、NIST(米国標準技術研究所)においてデータベースが整備され、約24万物質が公開されている。QMSの課題の一つに任意のガス成分の同定がある。本研究では、これまで測定熟練者などが行ってきた照合技術を計算機処理に取り込み同定解析手法を確立することを目的とした。本解析では初めに単回帰分析を行い、1次抽出する。その結果から重回帰解析を行い、偏回帰係数も求める。空気と希ガス(Ar, Ne, Kr)の混合ガスの解析では、それらのガスを検出した。