論文

査読有り
2011年5月

気液平衡型ガス発生源の真空天秤による性能試験

Journal of the Vacuum Society of Japan
  • 秦野 歳久
  • ,
  • 平塚 一
  • ,
  • 長谷川 浩一
  • ,
  • 海福 雄一郎*
  • ,
  • 阿部 哲也

54
5
開始ページ
313
終了ページ
316
記述言語
日本語
掲載種別
DOI
10.3131/jvsj2.54.313
出版者・発行元
The Vacuum Society of Japan

環境分野での大気汚染ガス量やアルミリサイクル材に混入している不純物ガス量の定量測定は、これらを世界標準化する観点からガス量を直接、重量値として表すことが求められている。そのため重量値で示せる標準ガス発生源の実用化が期待されている。本研究では、気液平衡型ガス発生源(以下、P-チューブと略する)を一候補例として、真空中での性能評価試験を行った。具体的には、真空中でガスの重量変化を自作の真空天秤で直接測定するとともに質量分析計を用いてガス成分濃度も合わせて測定し、両者の対応関係等について調べた。試験結果は、気液平衡型P-チューブが真空用重量標準ガス発生源として使用できる可能性を示した。

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.3131/jvsj2.54.313
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/130002117064
URL
https://jopss.jaea.go.jp/search/servlet/search?5022522
ID情報
  • DOI : 10.3131/jvsj2.54.313
  • ISSN : 1882-2398
  • CiNii Articles ID : 130002117064

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