基本情報

所属
東北大学 国際集積エレクトロニクス研究開発センター 研究開発部門 教授
学位
博士(工学)(東北大学)
修士(理学)(九州大学)

J-GLOBAL ID
201401062815463823
researchmap会員ID
7000010086

外部リンク

In 1992, I joined NEC Corporation, where I engaged in development of magnetic head of hard disk drive. Since 2002, I have been working on research and development for fabrication process of MRAMs. Since 2014, I am being sent to Tohoku University. I received PhD in literature of "A study on dry etching process for three terminal spintronics devices". My current interests are process integration and material development of high-speed embedded MRAMs.

研究キーワード

  3

受賞

  2

主要な論文

  150

書籍等出版物

  1

主要な講演・口頭発表等

  42

所属学協会

  1

共同研究・競争的資金等の研究課題

  2

産業財産権

  63

学術貢献活動

  1

メディア報道

  9