2016年6月15日
Fabrication of hydrogenated amorphous silicon carbide films by decomposition of hexamethyldisilane with microwave discharge flow of Ar
JJAP
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- 巻
- 55
- 号
- 6s2
- 開始ページ
- 06H
- 終了ページ
- C01
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- 出版者・発行元
- IOP
- ID情報
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- ISSN : 0021-4922