分離活性層として使用されるアモルファスシリカの耐熱耐水蒸気性を向上させるにはシリコン原料へのシロキサン結合導入、中間層として使用されるγ-アルミナへのNi添加が有効であった。高温水蒸気雰囲気における水素分離膜ガス分離特性劣化メカニズムはアモルファスシリカの緻密化による水素透過率の減少とγ-アルミナの細孔径増大による窒素透過率の増加によるものであり、水素分離膜全体の耐熱耐水蒸気性向上には中間層の耐熱耐水蒸気性の向上がより重要であることが分かった。