MISC

2019年

THz-TDSEによる3層構造SiCウエハのバッファ層の電気特性評価

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • 佐藤希一
    • ,
  • 藤井高志
    • ,
  • 藤井高志
    • ,
  • 毛利真一郎
    • ,
  • 荒木努
    • ,
  • 石地耕太郎
    • ,
  • 岩本敏志
    • ,
  • 杉江隆一
巻
66th
号
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201902240322876041
ID情報
  • ISSN : 2436-7613
  • J-Global ID : 201902240322876041
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