特許権 水蒸気透過度及び質量変化測定装置並びにその測定方法 飯塚真也 出願番号 特願2107-200956 出願日 2017年10月17日 公開番号 特開2019-074418 公開日 2019年5月6日 特許番号/登録番号 特許第6994216号 登録日 2021年12月15日 発行日 2022年1月14日