特許権 レーザドーピング装置及び半導体装置の製造方法 国立大学法人九州大学, ギガフォトン株式会社 池上 浩, 諏訪 輝, 若林 理 出願番号 JP2016059338 出願日 2016年3月24日 公開番号 WO2017-163356 公開日 2017年9月28日 公表番号 WO2017-163356 公表日 2017年9月28日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201903006427620280URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201903006427620280 ID情報 J-Global ID : 201903006427620280
