産業財産権

特許権

基板洗浄装置及び真空処理システム

東京エレクトロン株式会社 (名), 岩谷産業株式会社 (名)
  • 土橋 和也
    • ,
  • 井内 健介
    • ,
  • 清水 昭貴
    • ,
  • 安田 健太
    • ,
  • 吉野 裕
    • ,
  • 相田 敏広
    • ,
  • 妹尾 武彦
出願番号
2011-080098
出願日
2011年3月31日
公開番号
2012-216636
公開日
2012年11月8日
特許番号/登録番号
特許第5815967号
登録日
発行日
2015年10月2日
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