招待有り 筆頭著者 2020年4月10日 マイクロ波放電式プラズマ源の研究開発と応用 表面と真空 國中 均 巻 63 号 4 開始ページ 183 終了ページ 188 記述言語 掲載種別 研究論文(学術雑誌) DOI 10.1380/vss.63.183 リンク情報 DOIhttps://doi.org/10.1380/vss.63.183URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/63/4/63_20180538/_pdf ID情報 DOI : 10.1380/vss.63.183ISSN : 2433-5835eISSN : 2433-5843 エクスポート BibTeX RIS