MISC

2000年3月

高温のC2H4分子線を用いたSi(100)表面の炭化反応に関する研究

東北大学科学計測研究所技術室報告書
  • 猪狩佳幸
    • ,
  • 石塚真治
    • ,
  • 高岡 毅
    • ,
  • 高見知秀
    • ,
  • 楠 勲
巻
3
号
1
開始ページ
8
終了ページ
15
記述言語
日本語
掲載種別
記事・総説・解説・論説等（大学・研究所紀要）
エクスポート
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