2014年9月 Thermal Decomposition Reaction Mechanism of Ultrathin Oxide on Si(111) 秋季 応用物理学会学術講演会 唐 佳芸, 西本 究, 小川修一, 吉越章隆, 石塚眞治, 渡辺大輝, 寺岡有殿, 高桑雄二 記述言語 英語 会議種別