伊東駿也 (Shunya Ito) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学多元物質科学研究所附属高分子・ハイブリッド材料研究センター助教

研究者番号: 20814479
J-GLOBAL ID: 201801005723432057
researchmap会員ID: B000294091

研究キーワード

研究分野

経歴

2018年4月 - 2021年3月

東北大学, 多元物質科学研究所, 助教
2017年4月 - 2018年3月

東北大学, 多元物質科学研究所, 日本学術振興会特別研究員PD
2016年4月 - 2017年3月

東北大学, 多元物質科学研究所, 日本学術振興会特別研究員DC2

学歴

2014年4月 - 2017年3月

東北大学大学院, 工学研究科, 応用化学専攻博士後期課程
2012年4月 - 2014年3月

東北大学大学院, 工学研究科, 応用化学専攻博士前期課程

受賞

論文

Plastic deformation of synthetic quartz nanopillars by nanoindentation for multi-scale and multi-level security artefact metrics

Shunya Ito, Toshiyuki Omori, Masao Ando, Hiroyuki Yamazaki, Masaru Nakagawa

Scientific Reports 11(1) 2021年12月
Selective dry etching of UV-nanoimprinted resin passivation masks for area selective atomic layer deposition of aluminum oxide

Chiaki Miyajima, Shunya Ito, Masaru Nakagawa

Journal of Vacuum Science & Technology B 39(5) 052804-052804 2021年9月
Macromolecular Chain Structures of Atactic Poly(methyl methacrylate) Visualized on Hydrophilized Graphene Surfaces by Atomic Force Microscopy

Shunya Ito, Yoko Seto, Jiro Kumaki, Masaru Nakagawa

Chemistry Letters 50(7) 1403-1406 2021年7月5日
Single pulse development of chromium-deposited imprint micro/nano patterns of photo-cured crosslinked resin using a femtosecond pulsed laser

Yusuke Isawa, Takahiro Nakamura, Shunya Ito, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 60(SC) SCCJ02-SCCJ02 2021年6月1日査読有り
Suppression of resist pattern collapse by crosslinker in ultraviolet nanoimprinting involving sequential infiltration synthesis with trimethylaluminum

Chiaki Miyajima, Shunya Ito, Masaru Nakagawa

Journal of Vacuum Science & Technology B 39(3) 032603-032603 2021年5月
レーザー加工孔版印刷を新基軸としたナノインプリント技術「print-and-imprint」法

伊東駿也, 中川勝

表面と真空 63(11) 592-597 2020年11月10日査読有り招待有り筆頭著者
Organic–Inorganic Hybrid Replica Molds with High Mechanical Strength for Step-and-Repeat Ultraviolet Nanoimprinting

Shunya Ito, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

Bulletin of the Chemical Society of Japan 93(7) 862-869 2020年7月15日査読有り
Fluorescence imprint alignment using additive-type inclination moiré fringes

Takuma Yoshida, Shunya Ito, Kento Ochiai, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 59 SIIJ04 2020年6月1日査読有り
Depth profiles of aluminum component in sequential infiltration synthesis-treated electron beam resist films analyzed by time-of-flight secondary ion mass spectrometry

Shunya Ito, Yuki Ozaki, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 59 SIIC03 2020年5月査読有り筆頭著者
Selection of Polymerizable Functional Group of Adhesive Monolayer to Control Monomer Viscosity under Confinement in Silica Nano-gaps

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

Chemistry Letters 48(8) 943-946 2019年7月査読有り
Surface modification of polyimide laser-drilled screen printing masks for low-viscosity liquids in print-and-imprint method

Takahiro Nakamura, Narumi Endo, Shunya Ito, Rikuto Kuroda, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 58 SDDJ06 2019年5月査読有り
Sequential infiltration synthesis- and solvent annealing-induced morphological changes in positive-tone e-beam resist patterns evaluated by atomic force microscopy

Yuki Ozaki, Shunya Ito, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 58 SDDJ04 2019年5月査読有り
Visualization of organic/inorganic hybridization of UV-cured films with trimethylaluminum by scanning transmission electron microscopy and energy dispersive x-ray spectroscopy

Masaru Nakagawa, Takuya Uehara, Yuki Ozaki, Takahiro Nakamura, Shunya Ito

Journal of Vacuum Science and Technology B 36 06JF02 2018年10月査読有り
Selection of Diacrylate Monomers for Sub-15 nm Ultraviolet Nanoimprinting by Resonance Shear Measurement

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kenji Kawasaki, Ryuta Washiya, Yuzuru Shimazaki, Akihiro Miyauchi, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

Langmuir 34 9366-9375 2018年7月査読有り
Elemental depth profiles and plasma etching rates of positive-tone electron beam resists after sequential infiltration synthesis of alumina

Yuki Ozaki, Shunya Ito, Nobuya Hiroshiba, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 57(6) 06HG01 2018年6月1日査読有り
Surface forces between hydrophilic silica surfaces in a moisture-sensitive oleophilic diacrylate monomer liquid

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

AIP Advances 8(2) 2018年2月1日査読有り
Development of UV-curable resins suitable for reverse-Tone lithography for au metamaterials using a print-And-imprint method

Takuya Uehara, Shinya Sato, Shunya Ito, Haruna Yano, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

Bulletin of the Chemical Society of Japan 91(2) 178-186 2018年査読有り
Silica imprint templates with concave patterns from single-digit nanometers fabricated by electron beam lithography involving argon ion beam milling

Shunya Ito, Eri Kikuchi, Masahiko Watanabe, Yoshinari Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics 56(6) 2017年6月1日査読有り
Nanometer-Resolved Fluidity of an Oleophilic Monomer between Silica Surfaces Modified with Fluorinated Monolayers for Nanoimprinting

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES 9(7) 6591-6598 2017年2月査読有り
Size-Dependent Filling Behavior of UV-Curable Di(meth)acrylate Resins into Carbon-Coated Anodic Aluminum Oxide Pores of around 20 nm

Masaru Nakagawa, Akifumi Nakaya, Yasuto Hoshikawa, Shunya Ito, Nobuya Hiroshiba, Takashi Kyotani

ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES 8(44) 30628-30634 2016年11月査読有り

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MISC

Vapor Phase Infiltration to Hybridize Thin Films of Electron Beam and Nanoimprint Resists

Shunya Ito, Masaru Nakagawa

2nd Workshop on Sequential Infiltration Synthesis (SIS) 2020年12月査読有り招待有り筆頭著者
生体応用へ向けた細胞機能評価スクリーニング用マイクロ・ナノパターンの試作

赤坂司, 伊東駿也, 中川勝, 宮内昭浩

生体医歯工学共同研究拠点成果報告会 2019 2020年
一桁ナノサイズでの光ナノインプリントに適したモノマーと界面

伊東駿也

2019 高分子学会東北支部研究発表会 2019年11月招待有り筆頭著者責任著者
シングルナノ造形に向けた研究動向（第16章3節）

伊東駿也, 中川勝

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会） 622-624 2019年11月招待有り
離型力評価装置（第11章4節1項）

伊東駿也, 中川勝

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会） 410-412 2019年11月招待有り
光硬化樹脂のはく離に生じる力の測定（第11章3節6項）

伊東駿也, 中川勝

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会） 404-406 2019年11月招待有り
モールドへの離型剤塗布（第10章6節）

伊東駿也, 中川勝

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会） 371-373 2019年11月招待有り
UVナノインプリント用離型剤（第7章3節2項）

伊東駿也, 中川勝

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会） 257-261 2019年11月招待有り
易凝縮性ガスPFPに適した光硬化性組成物（第7章2節1項）

伊東駿也, 中川勝

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会） 226-228 2019年11月招待有り
Fluidity of Photopolymerizable Monomers in Unmodified and Modified Silica Nano-Gaps for Single-Digit-Nanometer UV Nanoimprinting

Shunya Ito, Masaru Nakagawa

The 10th International Symposium on Integrated Molecular/Materials Science and Engineering (IMSE-10) 2019年7月招待有り筆頭著者
Fluidity of an oleophilic monomer in nano-gap between reactive adhesive monolayers for UV nanoimprinting

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

The 62nd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2018) 2018年5月査読有り招待有り筆頭著者
シングルナノパターニングに向けた界面分子科学からのアプローチ

伊東駿也, 中川勝

第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月招待有り筆頭著者
Selection of additives to decrease demolding energies in UV nanoimprinting

Shunya Ito, Masaru Nakagawa

International Symposium on Integrated Molecular/Materials Science and Engineering 2014年11月招待有り筆頭著者
易凝縮性ガス利用光ナノインプリントに適した光硬化性組成物の開発

伊東駿也, 中川勝

月刊オプトロニクス 33(1) 90-95 2014年1月招待有り

書籍等出版物

ナノインプリント技術ハンドブック（編集応用物理学会・ナノインプリント技術研究会）

伊東駿也, 中川勝 (担当:共著, 範囲:第7章2節1項易凝縮性ガスPFPに適した光硬化性組成物、第7章3節2項 UVナノインプリント用離型剤、第10章6節モールドへの離型剤塗布、第11章3節6項光硬化樹脂のはく離に生じる力の測定、第11章4節1項離型力評価装置、第16章3節シングルナノ造形に向けた研究動向)

オーム社 2019年11月

講演・口頭発表等

Vapor Phase Infiltration to Hybridize Thin Films of Electron Beam and Nanoimprint Resists

Shunya Ito, Masaru Nakagawa

2nd Workshop on Sequential Infiltration Synthesis (SIS) 2020年12月15日招待有り
酸素反応性イオンエッチングによるグラフェン表面の改質と原子間力顕微鏡観察応用

伊東駿也, 瀬戸陽子, 熊木治郎, 中川勝

第20回東北大学多元物質科学研究所研究発表会 2020年12月3日
Organic-Inorganic Hybrid Nanoimprint Replica Molds for Industrial Application

Shunya Ito, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

The 4th Symposium for The Core Research Cluster for Materials Science and the 3rd Symposium on International Joint Graduate Program in Materials Science 2020年11月17日
グラフェン基板上でのPMMA孤立鎖の原子間力顕微鏡観察

伊東駿也, 瀬戸陽子, 熊木治郎, 中川勝

2020高分子学会東北支部研究発表会 2020年11月13日
高分子レジスト薄膜の有機－無機ハイブリッド化：逐次浸透合成によるアルミナ形成

伊東駿也

2020年度高分子・ハイブリッド材料研究センター（PHyM）若手フォーラム 2020年10月20日招待有り
逐次浸透合成による電子線およびナノインプリントレジストの有機－無機ハイブリッド化

伊東駿也, 中川勝

第69回高分子討論会 2020年9月17日
ナノ触診原子間力顕微鏡により可視化された光硬化超薄膜で起こる弾性率面内分布の不均一性

伊東駿也, 梁暁斌, 大沼晶子, 中嶋健, 中川勝

第69回高分子討論会 2020年9月16日
逐次浸透合成による光ナノインプリント成形パターンの倒れ欠陥と架橋剤添加による欠陥抑制

宮島千晶, 伊東駿也, 中村貴宏, 中川勝

第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月15日
光示差走査熱量測定による蛍光ナノインプリントアライメントに向けた色素含有紫外線硬化性液体の探索

吉田拓真, 伊東駿也, 中川勝

第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月15日
金属堆積光インプリント樹脂パターンのシングルパルスレーザー現像

井澤優佑, 中村貴宏, 伊東駿也, 中川勝

第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月15日
逐次浸透合成により高分子薄膜内に形成されたAlOxの深さ分布分析

伊東駿也, 尾﨑優貴, 中村貴宏, 中川勝

第19回東北大学多元物質科学研究所研究発表会 2019年12月12日
一桁ナノサイズでの光ナノインプリントに適したモノマーと界面

伊東駿也

2019 高分子学会東北支部研究発表会 2019年11月15日招待有り
光ナノインプリントにおける蛍光アライメントに向けた和の角度モアレ縞の観察

吉田拓真, 伊東駿也, 中村貴宏, 中川勝

高分子・ハイブリッド材料研究センター 2019 PHyM シンポジウム 2019年11月12日
Fluidic behavior of photopolymerizable monomers between silica surfaces related to single-digit-nanometer UV nanoimprinting

Shunya Ito

Tohoku-Melbourne Joint Workshop 2019年11月9日
Nanometer-resolved fluidity of diacrylate monomers between unmodified and modified silica surfaces for single-digit-nanometer UV nanoimprinting

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

OKINAWA COLLOIDS 2019 2019年11月3日
Resonance Shear Measurement of Diacrylate Monomers Confined between Silica Surfaces for UV Nanoimprinting

Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa

OKINAWA Colloids 2019 Pre-Workshop –5th International Mini-Symposium on Surface Forces– 2019年11月1日
Elemental depth profiles of sequential infiltration synthesis-treated resist thin films analyzed by time-of-flight secondary ion mass spectrometry

Shunya Ito, Yuki Ozaki, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019) 2019年10月31日
Chemical Registration to Prepare Defined-Shape UV-Cured Films in Print-and-Imprint Method

Masaru Nakagawa, Kento Ochiai, Akiko Onuma, Kazue Suto, Takahiro Nakamura, Shunya Ito

32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019) 2019年10月28日
Angles of Additive-type Inclination Moire Fringesfor Fluorescence Imprint Alignment

Takuma Yoshida, Shunya Ito, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019) 2019年10月28日
Silica Nanoparticles-Containing Replica Resin Molds for Step-and-Repeat UV Nanoimprinting

Shunya Ito, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa

the 18th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technologies (NNT2019) 2019年10月16日

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共同研究・競争的資金等の研究課題

ナノ空間で発現する特異な界面粘度を制御した次世代光硬化性液体の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究 2019年4月 - 2021年3月

伊東駿也
モノマー界面粘度の増加因子の究明に基づくサブ１５ｎｍの光ナノインプリント成形

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 2016年4月 - 2018年3月

伊東駿也

産業財産権

特許6090732 光ナノインプリント方法

中川勝, 伊東駿也, 尹哲民, 大幸武司, 三宅弘人, 湯川隆生

伊東駿也

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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