MISC

査読有り
1999年

Computer simulation of decaborane implantation and rapid thermal annealing

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology
  • Zinetulla Insepov
    • ,
  • Takaaki Aoki
    • ,
  • Jiro Matsuo
    • ,
  • Isao Yamada
巻
2
号
開始ページ
807
終了ページ
810
記述言語
英語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
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