MISC

2006年

Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere

Extended Abstracts of 7th Workshop on Cluster Ion Beam and Advanced Quantum Beam Process Technology
  • Kazuya Ichiki
    • ,
  • Satoshi Ninomiya
    • ,
  • Toshio Seki
    • ,
  • Takaaki Aoki
    • ,
  • Jiro Matsuo
開始ページ
124
終了ページ
129
記述言語
英語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨（国際会議）
エクスポート
BibTeX RIS
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