2006年8月20日
ターボ分子ポンプ内流れのシミュレーション
真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN
- 巻
- 49
- 号
- 8
- 開始ページ
- 476
- 終了ページ
- 480
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.3131/jvsj.49.476
- 出版者・発行元
- The Vacuum Society of Japan
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.3131/jvsj.49.476
- ISSN : 0559-8516
- CiNii Articles ID : 10018052120
- CiNii Books ID : AN00119871