基本情報

所属
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社 成膜技術開発センター シミュレーション技術開発部

ORCID iD
 https://orcid.org/0009-0003-9434-4604
J-GLOBAL ID
202401003341962204
researchmap会員ID
R000070644

論文

  6

講演・口頭発表等

  13

産業財産権

  7