特許権 相補型MIS装置 大見 忠弘, 東京エレクトロン株式会社 大見 忠弘, 小谷 光司, 須川 成利 出願番号 特願2009-000368 出願日 2009年1月5日 公開番号 特開2009-141376 公開日 2009年6月25日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903037481051963 ID情報 J-Global ID : 200903037481051963
