町田克之 (Katsuyuki Machida) - マイポータル

基本情報

所属: 東京工業大学科学技術創成研究院特任教授

学位: 博士（工学）

J-GLOBAL ID: 201801003131514821
researchmap会員ID: B000332869

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 /

経歴

2017年4月 - 現在

東京工業大学, 未来産業技術研究所, 特任教授
2007年4月 - 2017年3月

NTT アドバンステクノロジ
2010年4月 - 2016年3月

東京工業大学, 大学院理工学研究科, 連携教授
1981年4月 - 2007年3月

日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所及びNTT研究所

論文

242

Annealing effects on effective Young’s modulus of Ti/Au multi-layered microcantilevers

Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Micro and Nano Engineering 32 100367-100367 2026年9月
Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage

Masako Okumura, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Tatsuhiko Mori, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Japanese Journal of Applied Physics 2026年3月16日
Effect of Supercritical Carbon Dioxide Emulsification on Nickel Electroplating in Sulfamate Baths at Various CO2 Volume Fractions

Wending Hou, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone

Journal of The Electrochemical Society 2026年2月13日
Evaluation of annealing effects on the deformation of Ti/Au multi-layered micro-cantilevers

Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Micro and Nano Engineering 100333-100333 2025年11月
Evaluation of the Annealing Induced Warpage of an Electrodeposited-Au Octagonal Proof Mass with a Ti/Au Multi-Layered Structure toward MEMS Capacitive Accelerometers

Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Journal of The Electrochemical Society 2025年10月10日
Void-Free Smooth Nickel Electrodeposition with Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Sulfamate Bath in High Current Density

Wending Hou, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone

Journal of The Electrochemical Society 2025年9月10日
Design and evaluation of a dual-detection range single-axis MEMS capacitive accelerometer with gold proof-mass structure for suppressed warpage

Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito

Japanese Journal of Applied Physics 2025年4月1日
Application of high-sensitivity acceleration sensor detecting micro-mechanomyogram and deep learning for Parkinson’s disease classification

Jingyu Quan, Hirotaka Uchitomi, Ryo Shigeyama, Chenguang Gao, Taiki Ogata, Akira Inaba, Satoshi Orimo, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Masato Sone …

Scientific Reports 14(1) 2024年10月3日
Simultaneous Necking and Barreling Deformation Behaviors in Bending of Single-Crystal Gold Micro-Cantilever

Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang

Materials 17(16) 4054-4054 2024年8月15日
Cross-sectional geometry effect on bending strength of gold micro-cantilever with trapezoidal cross-section

Ryohei Hori, Kazuya Fujita, Chun Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Jhen-Yang Wu, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Micro and Nano Engineering 23 100259-100259 2024年6月
Dependence of Structural Design on Effective Young's Modulus of Ti/Au Multi-layered Micro-cantilevers

Shunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Micro and Nano Engineering 23 100249-100249 2024年6月
Effects of the strain rate in compression of electrodeposited gold micro-pillars toward the design of MEMS components

Syota Kanno, Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang

Micro and Nano Engineering 100254 2024年4月査読有り
Warpage Study of Electrodeposited-Au Micro-Components with Ti/Au Multi-Layered Structures toward MEMS Applications

Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Journal of The Electrochemical Society 2024年3月31日査読有り
Serpentine spring design technique for high sensitivity MEMS capacitive accelerometer fabricated by gold multi-layer metal technology

Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito

Japanese Journal of Applied Physics 63(4) 04SP23-04SP23 2024年3月21日
Clarification of geometric effects on long-term structural stability of Ti/au multi-layered Micro-cantilevers

Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Micro and Nano Engineering 100244-100244 2024年3月
Impurity Analysis of Electroplated Gold Components with Multi-Layered Structures by Thermal Desorption Spectrometry toward Application in Gold Micro Electro Mechanical System Capacitive Accelerometers

Takumi Akiyama, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone

Micro and Nano Engineering 21 100226-100226 2023年9月査読有り
Correlation of Sample Geometry and Grain Size in Micro-Bending of Electrodeposited Polycrystalline Gold

Kosuke Suzuki, Yiming Jiang, Ryohei Hori, Ken Hashigata, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito …

Materials Today Communications 106072-106072 2023年4月
Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology

Akira Onishi, Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito

IEEE 2023 INERTIAL 2023年3月査読有り
Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure

Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Shin-ichi Iida, Toshifumi Konishi, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito

IEEE Sensors Journal 22(15) 14769-14778 2022年6月査読有り
Detection system for Legionella bacteria using photogate-type optical sensor

Yuto Honda, Ryosuke Ichikawa, Yong Joon Choi, Kensuke Murakami, Kazuhiro Takahashi, Toshihiko Noda, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito …

Japanese Journal of Applied Physics 61(SD) SD1010-SD1010 2022年6月1日

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主要なMISC

165

集積化CMOS-MEMS技術とその応用

町田克之, 森村浩季, 武藤伸一郎, 佐藤康博

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 108(428) 1-6 2009年2月2日査読有り招待有り筆頭著者

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講演・口頭発表等

MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究

中島英亮, CHANG Tso‐Fu Mark, CHEN Chun‐Yi, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 伊藤浩之, 益一哉, 曽根正人

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日
A 0.18-µm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers

Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu

IEICE Electronics Express 2018年
フォトゲート型蛍光センサを用いたレジオネラの蛍光観測 (第9回集積化MEMSシンポジウム)

大西脩平, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月31日 Institute of Electrical Engineers of Japan
Sub-1mG MEMS inertial sensors for biomedical applications

Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu

2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS) 2017年 IEEE
C-12-13 CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討(C-12.集積回路,一般セッション)

劉安〓, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2016年3月1日一般社団法人電子情報通信学会
マイクロ流路内でのレジオネラ属菌のストレス応答 (第7回集積化MEMSシンポジウム)

西村祐典, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 王常楽, 飯田健一郎, 齋藤光正, 吉田眞一

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2015年10月28日 Institute of Electrical Engineers of Japan
C-12-24 ISFETを用いたワイヤレスpHモニタリング用低電力FM送信IC(RF回路技術,C-12.集積回路,一般セッション)

椎野雄介, 藤原琢, 野村聡, 伊藤浩之, 石原昇, 山内悠, 田邉裕貴, 小西敏文, 町田克之, 益一哉

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2013年9月3日一般社団法人電子情報通信学会
アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討

佃真文, 山根大輔, 加賀谷賢, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉洋

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2013年8月8日
C-12-57 ISFETを用いたpHモニタリング用低電力FM送信ICの検討(C-12.集積回路)

椎野雄介, 藤原琢, 伊藤浩之, 石原昇, 山内悠, 田邉裕貴, 野村聡, 小西敏文, 町田克之, 益一哉

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2013年3月5日一般社団法人電子情報通信学会
集積化CMOS-MEMS技術とその応用

森村浩季, 島村俊重, 桑原啓, 小野一善, 町田克之

電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C 2012年8月1日一般社団法人電子情報通信学会
集積化CMOS-MEMS技術とその応用

森村浩季, 島村俊重, 桑原啓, 小野一善, 町田克之

電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 2011年11月21日一般社団法人電子情報通信学会
集積化CMOS-MEMS技術とその応用 (特集ナノテク&MEMS)

町田克之

ディスプレイ 2011年3月テクノタイムズ社
STP法とスクリーン印刷法を組み合わせた新しいMEMS実装技術

真弓功人, 千野満, 田澤浩, 亀井敏和, 町田克之, 日暮栄治

電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C 2010年11月1日一般社団法人電子情報通信学会
ISFETを用いたワイヤレスpHセンシング用低電力FM送信IC

藤原琢, 石原昇, 天川修平, 山内悠, 田邉裕貴, 野村聡, 小西敏文, 町田克之, 益一哉

2010 年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会 2010年9月 2010 年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
ISFET を用いたワイヤレス pH センサモジュール

藤原琢, 石原昇, 天川修平, 山内悠, 田邉裕貴, 野村聡, 小西敏文, 町田克之, 益一哉

2010 年電子情報通信学会総合大会 2010年3月 2010 年電子情報通信学会総合大会
容量型指紋センサLSIでの偽造指による不正の検知に向けたインピーダンス検出手法

島村俊重, 森村浩季, 下山展弘, 阪田知巳, 重松智志, 中西衛, 町田克之

電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会 2009年11月12日
C-12-32 CMOS-MEMSの可動部位置制御のための容量センサ回路(センサ・3次元撮像素子,C-12.集積回路,一般セッション)

島村俊重, 森村浩季, 桑原啓, 佐藤昇男, 町田克之

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2009年9月1日一般社団法人電子情報通信学会
集積化CMOS-MEMS技術とその応用 (特集 MEMS技術のパッケージ分野への応用)

町田克之, 森村浩季, 武藤伸一郎

電子材料 2009年7月工業調査会
C-12-70 生体検知機能内蔵指紋センサLSIのためのインピーダンス検出手法の検討(C-12.集積回路,一般セッション)

島村俊重, 森村浩季, 下山展弘, 阪田知巳, 重松智志, 町田克之, 中西衛

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2009年3月4日一般社団法人電子情報通信学会
集積化CMOS-MEMS技術とその応用

町田克之, 森村浩季, 武藤伸一郎, 佐藤康博

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 2009年2月2日一般社団法人電子情報通信学会

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共同研究・競争的資金等の研究課題

細菌ストレス応答の動的過程解明:エレクトロニクスに創発された新細菌同定法への展開

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2019年4月 - 2022年3月

石井仁, 齋藤光正, 町田克之
エレクトロニクスに創発された細菌行動学の創生

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2015年4月 - 2019年3月

石井仁, 齋藤光正, 町田克之
結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2015年4月 - 2018年3月

山根大輔, 益一哉, 町田克之, 曽根正人
異種機能素子統合設計技術と人体行動予知システム用チップの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2011年4月 - 2014年3月

町田克之, 年吉洋, 益一哉, 石原昇
細菌迅速検知チップに関する基礎的研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2011年 - 2013年

石井仁, 町田克之, 吉田眞一

産業財産権

120

特開2014-016695 設計支援装置

小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉洋
特許第5197670号半導体装置の製造方法

工藤和久, 矢野正樹, 小西敏文, 亀井敏和, 松島隆明, 町田克之
特許第5149603号半導体装置の製造方法および半導体装置

足立秀喜, 町田克之
特開2011-216812 半導体装置の製造方法

工藤和久, 矢野正樹, 小西敏文, 亀井敏和, 松島隆明, 町田克之
特許第4504086号半導体装置の製造方法

町田克之, 浦野正美, 小館淳一, 寺田純, 佐藤昇男, 束原恒夫
特許第4494130号静電駆動スイッチの製造方法

小舘淳一, 町田克之, 浦野正美, 桑原啓
特許第4426413号半導体装置の製造方法

小舘淳一, 町田克之, 浦野正美, 束原恒夫
特許第4410085号可変容量素子及びその製造方法

小舘淳一, 町田克之, 浦野正美, 桑原啓, 寺田純
特開2009-135172 半導体装置の製造方法および半導体装置

足立秀喜, 町田克之
特許第4323435号半導体装置の製造方法

小舘淳一, 町田克之, 浦野正美
特開2008-109004 微細構造体の製造方法

佐藤昇男, 石井仁, 小野一善, 亀井敏和, 町田克之, 生津英夫
特許第4025261号表面形状認識用センサ及びその製造方法

佐藤昇男, 重松智志, 森村浩季, 町田克之, 島村俊重, 岡崎幸夫
特許第3953849号光スイッチ装置及び光スイッチ装置の製造方法

石井仁, 田辺泰之, 町田克之, 上西祐司, 清倉孝規
特許第3887252号表面形状認識用センサの製造方法

田辺泰之, 町田克之, 久良木億, 大西哲也, 熊▲崎▼ 利彦
特許第3866642号表面形状認識センサ装置

森村浩季, 重松智志, 島村俊重, 佐藤昇男, 岡崎幸夫, 町田克之, 久良木億
特許第3837558号半導体チップのパッケージ

町田克之, 重松智志, 吉田誠夫, 熊崎利彦, 嶋屋正一
特開2006-196654 半導体装置及びその製造方法

石井仁, 佐藤昇男, 浦野正美, 町田克之, 阪田知巳
特開2006-190804 半導体装置及びその製造方法

小舘淳一, 町田克之, 浦野正美
特許第3825388号光スイッチ装置

石井仁, 田辺泰之, 町田克之, 浦野正美, 島村俊重
特許第3825389号 MEMS素子の製造方法

町田克之, 石井仁, 阪田知巳, 浦野正美

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町田克之

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