講演・口頭発表等

2019年11月30日

反応性プラズマ支援成膜法により堆積した窒化ホウ素薄膜の機械的特性と耐プラズマ性に関する研究

第56回日本航空宇宙学会関西・中部支部合同秋季大会
  • 占部 継一郎
    • ,
  • 住平 透
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  • 野間 正男
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  • 山下 満
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  • 長谷川 繁彦
    • ,
  • 江利口 浩二
開催年月日
2019年11月30日
記述言語
日本語
会議種別
口頭発表（一般）
主催者
日本航空宇宙学会 関西支部・中部支部
開催地
関西大学 千里山キャンパス
国・地域
日本
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