2022年7月
Ion irradiation-induced sputtering and surface modification of BN films prepared by a reactive plasma-assisted coating technique
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
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- 巻
- 61
- 号
- SI
- 開始ページ
- SI1014
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.35848/1347-4065/ac5d16
- 出版者・発行元
- IOP Publishing
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.35848/1347-4065/ac5d16
- ISSN : 0021-4922
- eISSN : 1347-4065