2011年3月 マイクロ・ナノ領域の超精密技術 加藤景三, 他 担当区分 分担執筆 出版者・発行元 オーム社 総ページ数 374 担当ページ 225-230 記述言語 日本語 著書種別 学術書 DOI ISBN 9784274210051 ID情報 ISBN : 9784274210051
