Ag薄膜、およびAg薄膜上に積層したアラキジン酸C20LB膜試料について、表面プラズモン励起を利用して散乱光を高感度に測定した。散乱光の角度スペクトルを、金属/LB膜、LB膜/空気各界面の凹凸による影響を考慮して解析することにより、C20LB膜の表面凹凸を評価した。その結果、累積層数の増加にしたがい、LB膜表面の凹凸が、変化していることが観察された。また、同試料について、原子間力顕微鏡で表面観察を行った。その結果、層数増加により、表面粗さが増していることが観察された。これは、散乱光解析により得られた表面凹凸パラメータの変化と同じ変化の傾向を示していた。