産業財産権

特許権

極端紫外光源及び極端紫外光源用ターゲット

国立大学法人大阪大学
  • 長井 圭治
    • ,
  • 西村 博明
    • ,
  • 乗松 孝好
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  • 西原 功修
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  • 宮永 憲明
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  • 中塚 正大
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  • 井澤 靖和
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  • 山中 龍彦
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  • 中井 光男
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  • 重森 啓介
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  • 村上 匡且
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  • 島田 義則
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  • 内田 成明
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  • 古河 裕之
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  • 砂原 淳
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  • ジャコフスキー バシリ
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  • 松井 亮二
    • ,
  • 日比野 隆宏
    • ,
  • 奥野 智晴
出願番号
特願2004-569944
出願日
2003年12月26日
公表番号
WO2004-086467
公表日
2004年10月7日
特許番号/登録番号
特許第4406730号
登録日
2009年11月20日
発行日
PCT/JP2003/16947
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201103033608533345
ID情報
  • J-Global ID : 201103033608533345
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