MISC

2008年1月17日

10nm以下の極薄膜ダブルゲートSOI p-FETにおける高移動度の実証 : 軽い正孔バンドの役割と一軸性応力エンジニアリングとの整合性

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
  • 小林 茂樹
  • ,
  • 齋藤 真澄
  • ,
  • 内田 建

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開始ページ
9
終了ページ
12
記述言語
日本語
掲載種別
出版者・発行元
一般社団法人電子情報通信学会

SOI厚(T_<SOI>)10nm以下の(001)/<110>極薄SOI p-FETにおける、ダブルゲート(DG)モードによる正孔移動度の向上について実験的に調べた。2-30nmのT_<SOI>において、DGモードの移動度(μ_<DG>)は、シングルゲート(SG)の場合と比較して大きく向上することが分かった。特に、高い表面キャリア密度においては、10nm以下のT_<SOI>のμ_<DG>が、ユニバーサル移動度をも上回ることが分かった。DGモードによる移動度の向上は、軽い正孔バンドの占有率上昇による平均の有効質量減少に起因すると考えられる。このモデルは、サブバンド計算により支持される。また、一軸性圧縮応力によりμ_<DG>は更に向上することも実証した。

リンク情報
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/110006613690
CiNii Books
http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN10013254
URL
http://id.ndl.go.jp/bib/9375907
ID情報
  • ISSN : 0913-5685
  • CiNii Articles ID : 110006613690
  • CiNii Books ID : AN10013254

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