特許権 マイクロマシンおよびマイクロマシンシステム 科学技術振興事業団 中村 太郎, 嵯峨 宣彦 出願番号 特願2000-225631 出願日 2000年7月26日 公開番号 特開2002-036199 公開日 2002年2月5日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903003603007551URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903003603007551 ID情報 J-Global ID : 200903003603007551