藤田 隆
Takashi Fujita
更新日: 11/06
基本情報
研究キーワード
4研究分野
3経歴
3-
2020年4月 - 現在
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2001年11月 - 2020年3月
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1991年4月 - 2001年10月
委員歴
5-
2023年4月 - 現在
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2022年5月 - 現在
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2021年9月 - 現在
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2008年4月 - 現在
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2005年4月 - 2007年3月
受賞
5-
2020年6月
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2020年3月
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2019年10月
論文
46-
International Conference on Planarization Technology O17-001-O17-008 2023年10月31日 査読有り
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International Conference on Planarization Technology P62-001-P62-004 2023年10月31日 査読有り
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Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (C055) 2022年12月1日 査読有り責任著者
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Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (C056) 2022年11月30日 査読有り責任著者
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International Journal of Automation Technology 15(6) 878-884 2021年11月5日
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Thin Solid Films 709 138233-138233 2020年9月 査読有り筆頭著者最終著者責任著者
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International Conference on Planarization / CMP Technology 118-119 2019年9月
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Precision Engineering 57 95-103 2019年5月 査読有り
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Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing 13(4) JAMDSM0073-JAMDSM0073 2019年 査読有り筆頭著者最終著者責任著者
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ECS Journal of Solid State Science and Technology 8(10) P602-P608 2019年 査読有り筆頭著者
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ECS Journal of Solid State Science and Technology 8(5) P3069-P3074 2019年 査読有り
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Precision Engineering 55 381-389 2019年1月 査読有り
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ECS Journal of Solid State Science and Technology 6(8) P535-P541 2017年 査読有り
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ECS Journal of Solid State Science and Technology 6(7) P462-P469 2017年 査読有り
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砥粒加工学会誌 60(11) 597-602 2016年11月 査読有り
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Proceedings of International Conference on Precision Engineering c207-8107 2016年10月
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砥粒加工学会誌 159(8) 459-464 2015年8月 査読有り
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ECS Journal of Solid State Science and Technology 4(11) P5008-P5015 2015年 査読有り
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International Conference on Planarization / CMP Technology 162-166 2014年11月
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砥粒加工学会誌 58(4) 235-240 2014年4月 査読有り
MISC
6-
砥粒加工学会誌 67(2) 71-74 2023年2月 査読有り招待有り
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精密工学会誌 88(887) 566-567 2022年7月 筆頭著者
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月間トライボロジー (411) 41-45 2021年11月 招待有り筆頭著者最終著者責任著者
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2009半導体テクノロジー大全 4(3) 2-5 2009年 招待有り筆頭著者最終著者責任著者
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砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 49(8) 439-440 2005年8月1日
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電子材料 36(5) 54-56 1997年5月
書籍等出版物
3-
(株)技術情報協会 2023年9月 (ISBN: 9784861049828)
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サイエンス＆テクノロジー株式会社 2023年8月30日 (ISBN: 9784864283083)
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技術情報協会 2008年2月
主要な講演・口頭発表等
83-
精密工学会東北地方大会学術講演会講演論文集(2006) 2006年12月
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精密工学会東北地方大会学術講演会講演論文集(2005) 2005年12月
担当経験のある科目(授業)
9共同研究・競争的資金等の研究課題
5-
経済産業省近畿経済産業局 令和5年度成長型中小企業等研究開発支援事業（Go-Tech事業） 半導体CMP技術 2023年7月 - 2026年7月
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公益財団法人 天田財団 一般研究開発助成 2022年12月 - 2026年3月
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公益財団法人大澤科学技術振興財団 一般研究開発助成 2022年11月 - 2024年10月
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受託研究 2020年10月 - 2023年3月
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(財)荏原畠山記念文化財団 一般研究開発助成 2021年8月 - 2022年7月