MISC

2017年8月25日

新しい非蒸発ゲッター(NEG)コーティングの開発

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • 宮澤徹也
  • ,
  • 栗原真志
  • ,
  • 大野真也
  • ,
  • 寺島矢
  • ,
  • 夏井祐人
  • ,
  • 加藤博雄
  • ,
  • 菊地貴司
  • ,
  • 間瀬一彦
  • ,
  • 間瀬一彦

78th
開始ページ
ROMBUNNO.8a‐C14‐12
終了ページ
20
記述言語
日本語
掲載種別
DOI
10.14886/sssj2008.36.0_20
出版者・発行元
公益社団法人 日本表面科学会

非蒸発ゲッターポンプは超高真空領域で高排気速度を実現可能、無振動、無騒音、完全オイルフリー、省エネルギーといった特長を持つため、超高真空の維持においては理想的な真空ポンプである。最近では真空容器の内壁に清浄なTi、Zr、V、HfといったNEG材料をコーティングして200℃程度の加熱で真空容器の内壁自体をNEGポンプとする方法が開発されている。我々も新しいNEGコーティング法を開発したので報告する。

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.14886/sssj2008.36.0_20
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201702284605896254
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/130005175596
URL
http://jglobal.jst.go.jp/public/201702284605896254
ID情報
  • DOI : 10.14886/sssj2008.36.0_20
  • J-Global ID : 201702284605896254
  • CiNii Articles ID : 130005175596

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