2017年8月25日
新しい非蒸発ゲッター(NEG)コーティングの開発
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
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- 巻
- 78th
- 号
- 開始ページ
- ROMBUNNO.8a‐C14‐12
- 終了ページ
- 20
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.14886/sssj2008.36.0_20
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 日本表面科学会
非蒸発ゲッターポンプは超高真空領域で高排気速度を実現可能、無振動、無騒音、完全オイルフリー、省エネルギーといった特長を持つため、超高真空の維持においては理想的な真空ポンプである。最近では真空容器の内壁に清浄なTi、Zr、V、HfといったNEG材料をコーティングして200℃程度の加熱で真空容器の内壁自体をNEGポンプとする方法が開発されている。我々も新しいNEGコーティング法を開発したので報告する。
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.14886/sssj2008.36.0_20
- J-Global ID : 201702284605896254
- CiNii Articles ID : 130005175596