低温塩化処理技術に関し、遊星ボールミルを用いたメカノケミカル反応により、Nd$_{2}$O$_{3}$とCCl$_{4}$の塩化処理の可能性を検討した。メカノケミカル実験は、ポット材料,ミル時間, CCl$_{4}$/Nd$_{2}$O$_{3}$モル比,回転速度を変えて行った。得られた生成物のX線回折やラマン分光測定の結果、ジルコニア製及びタングステンカーバイド製のポットを用いた場合、室温状態でNd$_{2}$O$_{3}$からNdOClへの塩化反応が進むことを確認した。ミル時間を延ばすことやボール数を増やすことがNdOClへの塩化処理に効果的であり、遊星ボールミルで処理された粉末に引張応力が残留することを明らかにした。