2008年 - 2010年
微細電子材料の自己集積レプリケーション現象の解明とその創発
文部科学省 科学研究費補助金(基盤研究(C))
- 担当区分
- 研究代表者
- 配分額
-
- (総額)
- 4,680,000円
- (直接経費)
- 3,600,000円
- (間接経費)
- 1,080,000円
- 資金種別
- 競争的資金
電子デバイス実装の基本電極構造となる多点微細バンプ(突起状電極)の一括作成のため,Sn基金属微粒子と低粘性樹脂を混合したハイブリッド材料の選択的ぬれ現象に起因する微細バンプの自己形成や転写複製について実験的に実施にした。顕微CCD撮像による微細溶融液滴の金属電極上へのぬれ挙動の観察とバンプ形態評価により,加熱温度,金属微粒子の体積含有率,フラックス活性度などの本プロセスの適正条件を検討した。