特許権 センサ用構造体、容量式センサ、圧電式センサ、容量式アクチュエータ、及び、圧電式アクチュエータ 神田健介, 密山京太, 中村純, 樋口行平, 前中一介 出願番号 特願2011-42937 出願日 2011年2月28日 公開番号 特開2012-181050 公開日