論文

査読有り
2020年4月

Low temperature deformation mechanism of semiconductor single crystal and molding of Ge microlens array by direct electrical heating

AIP ADVANCES
  • Kai Tokuhiro
    • ,
  • Makoto Okano
    • ,
  • Satoru Hachinohe
    • ,
  • Masahiro Shimizu
    • ,
  • Yasuhiko Shimotsuma
    • ,
  • Kiyotaka Miura
巻
10
号
4
開始ページ
ARTN 045214
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.1063/5.0003218
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1063/5.0003218
ID情報
  • DOI : 10.1063/5.0003218
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