特許権 半導体配線の製造方法 大西 隆, 水野 雅夫, 坂本 真之, 佐藤 大樹, 小濱 和之, 伊藤 和博, 村上 正紀 出願番号 特願2009-009971 出願日 2009年1月20日 公開番号 特開2010-171063 公開日 2010年8月5日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201003077575040232 ID情報 J-Global ID : 201003077575040232